Kako nadoknađivati nisku stopu iskorišćenja cilja magnetnog prskanja

- Jul 18, 2017-

Kako prevazići nisku stopu iskorišćenja cilja magnetronskog sputtera

Rotirajuća meta se široko koristi u solarnim ćelijama, arhitektonskom staklu, automobilskom staklu, poluprovodnicima, televizorima sa ravnim ekranom i drugim industrijama.

Cilindrična rotirajuća mera ima veliku jačinu magnetskog polja, visoku efikasnost iskorištavanja metala, visoku brzinu depozicije filma, municiju i jedinstveni filmski sloj mogu se odložiti na pločastom podlogu velike površine na obe strane cilja. Istovremeno kroz mehanizam rotacije radi poboljšanja korištenja meta. Ciljano hlađenje je dovoljno, ciljna površina može izdržati višak napajanja. Kombinovanjem sa tehnologijom dvostruke ciljane magnetronske sputacije srednjeg frekvencije može značajno da se poboljša efikasnost proizvodnje, uz istovremeno smanjenje troškova proizvodnje.

Magnetno raspršivanje ima mnoge prednosti, ali i postojanje niske stope depozicije i nejednakog ciljanja na površini, slaba iskorištenost ciljnih defekata. Kao što je cilj ravnomjernog ciljnog korišćenja ciljeva je uglavnom samo oko 20% do 30%, cilj prskanja koji rezultira njegovom efikasnošću raspršivanja je relativno nizak. Za neke dragocene metale kao što su zlato, srebro, platina i neki ciljevi legure visoke čistoće, kao što su priprema ITO filma, elektromagnetski film, superprevodni film, dielektrični film i drugi slojevi plemenitih metala, kako prevazići magnetronsko raspršivanje Upotreba ciljne mase je mala, nanošenje tankog filma nije jednoobrazno, a drugi nedostaci su veoma važni.

Pravokutna planarna magnetronska prskanja heterogenost ciljne ciljne heterogenosti se uglavnom odražava u dva aspekta, s jedne strane je širina ciljne širine neujednačenog jezgra, s druge strane, sputtering cilja tradicionalni dizajn pravougaonog plana koji prskaju ciljni žljeb za raspršivanje Staza je zatvorena, a anomalan etch fenomen je sklona da se javlja na dijagonalnoj poziciji ciljnog kraja, a jedenje na zglobu između kraja cilja i pravca je nenormalno, a jezgro u sredini je plitko i jezgro Teški dijelovi Su uvek dijagonalni, tako da je fenomen poznat i kao krajnji efekat ili dijagonalni efekat. Efekat krajnjeg etra cilja u velikoj mjeri smanjuje jednakost dubine etch kanala, a cilindrični rotirajući cilj može vrlo dobro riješiti ove probleme i time imati veću brzinu iskorišćenja.